1. X射線光電子能譜分析 (XPS) ：固體樣品表面化學組成、 化學元素像、 化學價態、 價帶結構、 晶體結構分析等。
2. X射線衍射分析 (XRD) ：物相鑒定、 定量分 析、 織構分析、 殘余應力分析、 高溫原位X射線衍射分析、 小角衍射分析。
3. X射線熒光光譜分析 (XRF) ：元素分析，氧化物分析。
主要設備：X射線光電子能譜儀；X射線衍射儀；X射線 熒光光譜儀。
