儀器廠商和型號

美國MTS公司

Nano Indenter XP

儀器設備性能參數

位移精度：0.01nm;載荷精度：50nN；位置精度：400nm;最大載荷：600mN；最大深度：500um。

納米顯微力學探針是研究材料微區力學性能的有力工具。

Nano Indenter II納米顯微力學探針是一種特殊的壓入系統，它能連續記錄載荷、位移數據，實驗載荷可小至微克數量級。除了可以研究第二相粒子，晶界，復合材料等，由于它的高位移精度（垂直方向為0.04nm）特別適合于分析各種薄膜材料和表面改性材料的微區力學性能。

儀器設備功能用途

1、測定各種薄膜材料包括離子注入材料、化學鍍、氣相沉積、多層膜、超硬膜、表面改性等材料的硬度和彈性模量；
      2、測定多相金屬材料、復合材料中某一相的硬度和彈性模量及界面區域的硬度分布；
      3、測定材料的蠕    變和應變速率敏感系數；
      4、測定材料的硬化指數；
      5、通過測量壓痕的裂紋長度可以得到材料的斷裂韌性；
      6、通過推出法測定復合材料的界面性能，可以得到界面剪切強度；
      7、結合有限元方法可計算材料的屈服強度；
      8、結合劃痕附件可測量薄膜的結合強度和摩擦系數；
      9、在集成電路、微電子及生物材料領域也有應用。納米顯微力學探針的應用領域還在不斷擴大。充分利用現有的硬件和軟件，不斷設計新的附件和應用軟件必將開發出更多的新功能。

儀器設備對外服務項目

薄膜材料硬度和彈性模量。