儀器廠商和型號

CAMECA LEAP-5000XR

儀器設備性能參數

最低樣品溫度：25 K

離子收集率：50%

激光能量：1-1000 pJ

空間分辨率：0.1 nm

環形視場（Al，nm）：> 150

最高脈沖頻率：500 kHz

最大數據采集速率：4M ions/min

背底真空（分析室，Torr）: < 1×10-10

質量分辨率： 1000 (半高峰寬)；475 (10%峰寬)； 275(1%峰寬)

儀器設備功能用途

以三維視角在亞納米尺度揭示材料內部所有元素的分布。針對材料研發中令人棘手的測量和分析方面難題，三維原子探針為研究者提供原子量級分辨率的材料內部結構的三維成分圖像，分析靈敏度接近百萬分之一，特別適合于研究納米尺度的微小結構(沉淀、團簇、GP區等)以及各種內界面(晶界、相界、多層膜結構中的層間界面等)，使用該設備可觀測和研究元素在界面的偏聚行為，微小沉淀相的尺寸、分布以及成分。在納米材料等新材料研究方面，傳統金屬材料和新金屬材料研究方面都可發揮重要作用，廣泛的應用于涉及新型金屬材料、新能源材料、電子信息材料及其器件和材料復合與器件集成等材料、物理、化學等多學科的研究領域。

LEAP-5000XR局部電極三維原子探針系統是目前最先進的三維原子探針系統，同時具有高壓電脈沖模式和UV激光脈沖模式，可測試金屬等導電材料，也可測試高電阻半導體、氧化物等等非導電材料。

儀器設備對外服務項目

金屬等導電材料，高電阻半導體、氧化物等非導電材料的三維元素分布。